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应用场景： 1.半导体材料生产、制造过程中会使用到硅烷气体，而硅烷气体具有强烈的可燃性和爆炸性质。 2.半导体材料加工、清洗设备以及尾气处理设备温度往往非常高，极易发生火灾。 3.因火灾而引起半导体材料加工设备的损坏，足以摧毁生产线。如果不能及时处理也可能会引发更大的火灾。
系统构成： 本套系统由火灾探测、灭火控制系统和灭火系统组成，火灾探测器可选用多种温度传感器，该传感器可将探测区域内温度实时显示到灭火控制器上，火焰探测器，该探测器可实时将探测区域火灾情况上传至灭火控制器，灭火控制器可根据探测区域内温度的异常变化智能判断火灾的发生，并启动灭火系统。
实现功能： 1.实时监控显示、上传功能 2.系统故障自动报警功能 3.系统具有历史记录功能 4.自动/手动灭火工作状态转换功能 5.系统自检功能 6.灭火剂泄漏报警装置
系统工作流程图
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